Леньшин А.С., Середин П.В., Белорус А.О.
ИССЛЕДОВАНИЕ СЛОЕВ И НАНОПОРОШКОВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДАМИ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ И УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ

Полный текст:

В работе методами рентгеновской дифракции и УФ-спектроскопии проведены исследования образцов пористого кремния с двумя различными размерами пор и полученных из них нанопорошков. Установлены разупорядочение кристаллов в пористом слое относительно исходной подложки в результате электрохимического формирования пористого слоя, особенности спектров оптического поглощения пористых слоев и нанопорошков и различия между ними.

Работа, в части отработки методик создания эпитаксиальных гетеро и наноструктур с высокими функциональными свойствами на кремниевых подложках, выполнена при поддержке гранта Президента РФ МД-188.2017.2 и МК-4865.2016.2.

Работа, в части управления морфологией, составом поверхности и функциональными характеристиками нанопорошков кремния, выполнена при финансовой поддержке гранта РФФИ 17-32-50004 мол_нр.

Экспериментальные исследования были проведены с помощью научно-технической базы ЦКПНО ВГУ.

Ключевые слова: пористый кремний, нанопорошки, спектроскопия

Леньшин Александр Сергеевич – к. ф.-м. н., с. н. с. кафедры ФТТ и НС, Воронежский государственный университет; e-mail: lenshinas@phys.vsu.ru

Середин Павел Владимирович – д. ф.-м. н., с. н. с. кафедры ФТТ и НС, Воронежский государственный университет; e-mail: paul@phys.vsu.ru

Белорус Антон Орестович – аспирант кафедры микро- и наноэлектроники Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) СПбГЭТУ «ЛЭТИ»; e-mail: mop_92@mail.ru

  1. Park Ji-Ho, Luo Gu, G. von Maltzahn, Ruoslahti E., Bhatia S. N. and Sailor M. J. // Nature Mat. Lett., 2009, № 8, pp. 331–336.
  2. Gang Wang, Siu-Tung Yau, Mantey K., Nayfeh Munir H. // Opt. Comm., 2008, № 281, pp. 1765–1770.
  3. Salcedo W. J., Fernandez F. J. R. and Rubim J. C. // Phys. Stat. Sol. (C), 2004, vol. 1, № S1, pp. 26–30.
  4. Min Yu, Xiao Huan Mei, Han Shou, Jun Xiao // Sci. China Chem., 2013, vol. 56, № 8, pp. 1152–1163.
  5. Леньшин А. С., Кашкаров В. М., Середин П. В., Агапов Б. Л., Минаков Д. А., Ципенюк В. Н., Домашевская Э. П. // ЖТФ, 2014, т. 84, № 2, с. 70-75.
  6. Леньшин А. С., Кашкаров В. М., Голощапов Д. Л., Середин П. В., Полуместная К. А., Мараева Е. В., Солдатенко С. А., Юраков Ю. А., Домашевская Э. П. // Неорган. материалы, 2012, т. 48, № 10, с. 1091-1096.
  7. Полковникова Ю. А., Леньшин А. С., Середин П. В., Минаков Д. А. // Неорган. материалы, 2017, т. 53, № 5, с. 479–485.
  8. Леньшин А. С., Кашкаров В. М., Турищев С. Ю., Смирнов М. С., Домашевская Э. П. // Письма в ЖТФ, 2011, т. 37, № 17, с. 1-8.
  9. Леньшин A. C., Кашкаров B. M., Ципенюк B. H., Середин П. В., Агапов Б. Л., Минаков Д. А., Домашевская Э. П. // ЖТФ, 2013, т. 83, №. 2, с. 36-140.
  10. Lenshin A. S., Seredin P. V., Agapov B. L., Minakov D. A., Kashkarov V. M. // Mat. Sci. in Sem. Proc., 2015, vol. 30, pp. 25–30.
  11. Seredin P. V., Lenshin A. S., Kashkarov V. M., Lukin A. N., Arsentiev I. N., Bondarev A. D. Tarasov I. S. // Mat. Sci. in Sem. Proc., 2015, vol. 39, pp. 551–558.
  12. Seredin P. V., Kashkarov V. M., Arsentyev I. N., Bondarev A. D., Tarasov I. S. // Phys. B Condens. Matter, 2016, vol. 495, pp. 54–63.
  13. Seredin P. V., Lenshin A. S., Goloshchapov D. L., Lukin A. N., Arsentyev I. N., Bondarev A. D. Tarasov I. S. // Semiconductors, 2015, vol. 49, pp. 915–920.
  14. Seredin P. V., Kashkarov V. M., Arsentyev I. N., Bondarev A. D., Tarasov I. S. // Phys. B: Condens. Matter, 2016, vol. 495, № 15, pp. 54-63.
  15. Уханов Ю. И. Оптические свойства полупроводников. Наука, 1977, 366 с.
  16. Тауц Я. УФН, 1968, т. 94, №. 3, с. 501-534.
  17. Ledoux G., Guillois O., Porterat D., and Reynaud C. // Phys. Rev. B., 2000, vol. 62, № 23, pp. 15943–15951.